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研发与技术

研发与技术

合成与分离提纯

正帆科技技术电子材料研发团队通过深入研究化学反应和分离纯化机理,并采用工程化技术对实验装置进行放大,掌握了电子材料合成,然后经过催化吸附、高效精馏、膜分离等纯化手段有效去除电子材料中有害杂质的核心技术。通过气体钢瓶内壁处理技术,确保高纯气体在储存和运输过程中品质稳定,满足半导体制造工业要求的99.9999%以上纯度。

运用合成与分离提纯技术,正帆科技自产的砷烷、磷烷产品实现纯度≥99.9999%,关键杂质含量优于《GBT 26250-2010中华人民共和国国家标准电子工业用气体-砷化氢》、《GBT 14851-2009中华人民共和国国家标准电子工业用气体-磷化氢》中的相关规定。

系统微污染控制

正帆科技技术团队依据材料科学和表面处理工艺原理,通过对系统设计、材料选型、设备制造、现场洁净环境、施工工法、质量检验、设备测试和调试等关键环节的控制,避免配送系统对工艺介质带来二次污染,保障高纯气体和化学品在配送过程中的纯度。

正帆科技构建了一套认证及检验流程,建立了一套完整的核心材料数据库,并配备了扫描电镜、金属成分光谱检测仪、粗糙度检测仪等检测工具,能够独立对原材料进行材质分析、纯度测试、部件性能测试等,以确保品质达到系统设计要求。

系统微污染控制技术的实现是在服务于客户目标的前提下,对具体流程和功能组件不断优化和并对过程进行完善。

材料再生循环

泛半导体产业对于工艺介质的利用率较低,有些制程利用率低于5%,甚至完全不参与化学反应。而多数工艺介质不能直接排入大气或者市政污水系统,必须进行有效的尾气、废液和废水处理。正帆科技开发了废弃物资源化技术,采用各种工程技术方法和管理措施,从废弃物中回收有用的物质和能源。通过回收废物内高价值产品,经二次纯化并循环使用,可以降低原材料消耗、保障生产安全、同时避免环境污染。

正帆科技已自主开发的氦气再生与循环利用系统,通过研究氦气及相关组分的物化性质,组合使用过滤、吸附、膜分离等提纯方法,在回收率、纯度等方面达到了客户满意的效果。该项技术不仅帮助客户减少了原材料采购成本,且一定程度上降低客户对国外供应商的依赖。

系统模拟与仿真

正帆科技采用流程模拟仿真技术,通过工程设计和软件编程,对输送的高纯电子气体和化学品的温度、压力、流量、浓度、传热等参数进行精确动态计算,模拟现场实际运行参数,指导设备管道设计、部件选型、节能改进方向等。

结合多年工艺应用数据库和项目经验积累,并通过实践修正仿真计算的过程,提升了仿真的准确性,使其能够应对复杂的流体系统设计。正帆科技将流体学科与工程实践相结合,对系统中的关键部件和设备进行设计优化,从而支持气体、化学品的稳定供应,匹配客户的具体需求。

分析与痕量检测

针对特种气体和化学品中的有害杂质特性,正帆科技研发团队开发了准确可靠的痕量杂质分析方法。利用独创的色谱柱填料配方与装柱工艺,设计相对应的进样和吹扫程序,并配套高精度检测器,对电子气体的微量水分、氧分、颗粒、碳氢化合物等有害杂质进行分析检测,为高纯电子材料的生产提供保障。

正帆科技已经建立了一套完整的分析与检测方法,并将该分析检测技术应用于高纯特种气体业务中。合肥正帆建立的分析与检测实验室,从高纯取样系统到精密分析仪器的每一个环节均建立了标准的操作程序,确保分析结果准确可靠,为正帆科技生产高纯特种气体提供保障。

安全与环境监测

正帆科技依据工艺安全14大要素要求,遵循本质安全设计原则,评估气体化学品系统危险性和可操作性。通过工艺危害分析,识别评估可能存在的风险,并将技术要点反映在设计方案和操作规程中,为客户设计并建造气体、化学品监控的软硬件平台,帮助客户实现物料供应过程的自动化安全控制与管理。

在设备层,正帆科技通过积累的各行业客户供应系统中的流程逻辑和经验参数,在PLC程序中嵌入了制程安全互锁,避免人为误操作或工艺流程逻辑差错对系统寿命以及工作人员的生命安全造成危害;在管理层,通过采集工艺设备、侦测器等底层数据,实现系统运行的数据记录和中央监控,为客户提供状态查询、安全预警、维护提示、信息追溯等具体功能,提高生命安全和制程安全管理水平。

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