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高纯系统质量保障的核心在于从设计、制造到测试验证的全过程微污染控制技术及全过程可追溯的质量管理体系建设。依托超高纯流体输送系统近20年的经验及高纯工艺系统微污染控制技术,流体系统设计与模拟仿真技术,正帆科技能够为客户提供各类定制化流体设备,包括高纯度液态源输送设备(LDS),大流量精密控制的液态源蒸发设备等。
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